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產(chǎn)品詳細頁產(chǎn)品特點
量程低至0.5SCCM
寬量程比:10000:1
響應時間:100-1000ms
無需預熱時間
多功能數(shù)字顯示屏,帶摁鍵背光
內置98種常用氣體,可編輯混合氣體
測量參數(shù):質量流量、體積流量、溫度和壓力,累積流量可選
技術參數(shù)
量程范圍:從0~0.5SCCM至0~5000SLPM(10000SLPM for H2)
可測介質:非腐蝕性、潔凈、干燥氣體(如需測量腐蝕性氣體可選MS系列)
精度:標準精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程,(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段:
普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取較大值)
高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取較大值)
重復性:±0.2%
測量范圍:0.01%~100%滿量程
溫度范圍:-10~60℃(可選高溫選項)
溫度精度:±0.75℃
溫度漂移:0.02%滿量程/℃
耐壓:160PSIA(更高耐壓請選擇MQ系列)
壓力漂移:± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm from calibration conditions
壓力精度:>1atm:±0.5%讀數(shù)
<1atm:±0.07PSIA
操作壓力低至:11.5PSIA(更低壓力請來電垂詢)
防護等級:IP40
濕度范圍:0~95%不凝結
接液材質:302&303不銹鋼,Viton等多種材質
模擬信號:0-5VDC;1-5VDC;4-20mA;0-10VDC
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
數(shù)字信號:RS232;RS485
通訊協(xié)議:Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
標準電氣連接:DB9 male, 可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
供電電源:9-24VDC 40mA min(如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出,須12 - 24VDC)
標準狀態(tài):默認25℃,1atm,顯示屏上可自定義其它標準狀態(tài)
操作軟件:自帶操作軟件,可存儲、導出數(shù)據(jù)
更多個性化性能及選項請來電垂詢!010-87241391
訂貨參數(shù)
氣體種類
量程范圍(標準狀態(tài)下量程)
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號
接口類型
如需選型報價請來電垂詢!010-87241391
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